トリヤマ トシユキ
鳥山 寿之
TORIYAMA Toshiyuki
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2002
形態種別 論文(その他)
標題 Single Crystal Silicon Nano-Wire Piezoresistors for Mechanical Sensors
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Microelectromechanical Systems
巻・号・頁 Vol.11,pp.605-611
著者・共著者 T.Toriyama, Y.Tanimoto and S.Sugiyama