トリヤマ トシユキ
鳥山 寿之
TORIYAMA Toshiyuki
所属 理工学部 機械工学科
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2011
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Calibration of Wet Etching Parameters for Sacrifice Layer of MEMS
執筆形態 その他
掲載誌名 Journal of Computational Science and Technology
巻・号・頁 5,106-119
著者・共著者 T.Toriyama他4名