Researcher Database

SUGIYAMA Susumu

Department / Course Research Organization of Science and Technology

Title / Position Visiting Senior Researcher

Acquisition patent
1.		Sensor （米国出願番号09/046953）
2.		Ｘ線を用いた材料の加工方法及びその装置（特願2000－347103）
3.		Ｘ線マスク及びその製造方法（特願2000－344848）
4.		Ｘ線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法（特開2000-206696）
5.		センサ（特願平9-90048）
6.		センサ（特願平9-90049）
7.		センサ（特願平9-90050）
8.		デジタル出力を有する容量形センサ（特許第3114816号）
9.		マイクロ構造体及びその製造方法並びにマイクロ構造体の応用装置並びにその製造方法（特願2000－215737）
10.		レジスト膜の形成方法及び超小型構造体の作製方法（特開平11-065111）
11.		光反応加工法ならびに光反応加工装置（特願平11-330875）
12.		磁気センサ（特開2000-131005）
13.		静電容量型センサ（特開2000-266777）
14.		電気コネクタ及びその製造方法（特願2000－150304）
15.		熱電変換デバイス及びその製造方法（特願2000－231991）
16.		半導体ひずみゲージ及びそれを用いたひずみ測定方法（特開2000-162056）
17.		半導体ピエゾ抵抗センサ（特願2000－284978）
18.		半導体圧力センサ（特開2000-055757）
19.		容量型センサ（特許第3189987号）