研究者学術情報データベース

スギヤマ　ススム
杉山　進
SUGIYAMA Susumu

所属総合科学技術研究機構

職名上席研究員

取得特許
1.		Sensor （米国出願番号09/046953）
2.		ﾏｲｸﾛ･ｺﾈｸﾀ及びこれを用いる嵌合判定方法（2002-246117）
3.		Ｘ線を用いた材料の加工方法及びその装置（特願2000－347103）
4.		Ｘ線マスク及びその製造方法（特願2000－344848）
5.		Ｘ線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法（2000-206696）
6.		Ｘ線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法（特開2000-206696）
7.		センサ（特願平9-90048）
8.		センサ（特願平9-90049）
9.		センサ（特願平9-90050）
10.		センサシステム（2005-018175）
11.		デジタル出力を有する容量形センサ（特許第3114816号）
12.		マイクロニードルアレイ及びその製造方法（2005-246595）
13.		マイクロ構造体及びその製造方法並びにマイクロ構造体の応用装置並びにその製造方法（特願2000－215737）
14.		レジスト膜の形成方法及び超小型構造体の作製方法（3376253）
15.		レジスト膜の形成方法及び超小型構造体の作製方法（特開平11-065111）
16.		光反応加工法ならびに光反応加工装置（特願平11-330875）
17.		磁気センサ（2000-131005）
18.		磁気センサ（特開2000-131005）
19.		静電容量型センサ（2000-266777）
20.		静電容量型センサ（特開2000-266777）
21.		多芯フェルール及び多芯フェルール製造用コアピン並びにその製造方法（2006-184460）
22.		電気コネクタ及びその製造方法（3429732）
23.		電気コネクタ及びその製造方法（特願2000－150304）
24.		熱電変換デバイス（2005-328000）
25.		熱電変換デバイスの製造方法及び熱電変換デバイス（2005-150247）
26.		熱電変換デバイス及びその製造方法（特願2000－231991）
27.		半導体ひずみゲージ及びそれを用いたひずみ測定方法（3368344）
28.		半導体ひずみゲージ及びそれを用いたひずみ測定方法（特開2000-162056）
29.		半導体ピエゾ抵抗センサ（特願2000－284978）
30.		半導体圧力センサ（3355341）
31.		半導体圧力センサ（特開2000-055757）
32.		搬送機構及びこれを用いた微小化学分析システム（2006-125886）
33.		容量型センサ（特許第3189987号）
34.	2007/02	回路ブロック及びその製造方法（2007-038456）
35.	2007/02	熱電変換デバイス及びその製造方法（2007-027945）
36.	2006/12	注入装置（2006-348044）
37.	2006/08	形状可変ミラー（2006-216636）
38.	2006/08	形状可変ミラー及び形状可変ミラーの製造方法（2006-216638）
39.	2006/07	採血装置（2006-197228）
40.	2006/06	加速度センサ及び加速度センサの製造方法（2006-168391）
41.	2006/04	熱感知型加速度センサ（2006-116634）
42.	2006/03	成形装置（2006-083792）
43.	2006/02	ガスレートセンサの検出部構造（2006-024764）
44.	2005/12	熱電変換デバイス及び熱電変換デバイスの製造方法（2005-380349）
45.	2005/12	流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置（2005-356839）
46.	2005/12	流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置（2005-356841）
47.	2005/12	流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置（2005-356843）
48.	2005/12	流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置（2005-356851）
49.	2004/01	熱電変換デバイス（2004-012134）
50.	2003/10	センサシステム（2003-365040）
51.	2003/07	加速度センサ（2003-309388）
52.	2003/07	熱電変換デバイスの製造方法（2003-191302）
53.	2003/03	熱電変換デバイス（2003-070200）
54.	2003/02	熱電変換デバイス及び熱電変換デバイスユニット（2003-030013）
55.	2002/12	熱電変換デバイス及びその製造方法（2002-372997）
56.	2002/12	熱電変換デバイス及び熱電変換デバイスユニット並びに熱電変換デバイスの製造方法（2002-372998）
57.	2002/02	光スイッチの製造方法（2002-042053）